預發布
此產品處于設計驗證階段
TVMDGH020P 20μm光柵尺讀數頭
基于自主核心光編芯片與配套算法,結合深度優化的光機設計,為您提供高精度定位反饋的全鏈路解決方案。系統支持20μm柵距增量式光柵尺,兼容直線、圓弧及圓光柵等多種類型,通過實時自適應調節光強、增益、相位等參數,實現幾乎無延遲精準測量,確保優異的動態性能和長期穩定運行。該系統可廣泛應用于半導體制造、精密數控機床、激光加工、光學檢測及自動化裝配等領域,為各類高精度設備提供從傳感、處理到集成的完整測量支持。
產品特性
-
柵距:20μm
-
分辨率:2.5nm
-
輸出信號:差分TTL或1VPP、零位
-
電子細分誤差:±20nm
-
檢測速度最高:12m/s
-
消耗電流:≤200 mA(無負載)
-
電子細分位數:14位
-
電源電壓:DC5V± 5%
-
防護等級:IP40
-
匹配柵尺:金屬、玻璃、陶瓷
-
工作溫度:0 ~ +70°C
-
讀數頭重量:20g
-
限位開關:讀數頭底部磁性開關