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預發布

此產品處于設計驗證階段

TVMDGH020P 20μm光柵尺讀數頭

基于自主核心光編芯片與配套算法,結合深度優化的光機設計,為您提供高精度定位反饋的全鏈路解決方案。系統支持20μm柵距增量式光柵尺,兼容直線、圓弧及圓光柵等多種類型,通過實時自適應調節光強、增益、相位等參數,實現幾乎無延遲精準測量,確保優異的動態性能和長期穩定運行。該系統可廣泛應用于半導體制造、精密數控機床、激光加工、光學檢測及自動化裝配等領域,為各類高精度設備提供從傳感、處理到集成的完整測量支持。

產品特性

  • 柵距:20μm

  • 分辨率:2.5nm

  • 輸出信號:差分TTL或1VPP、零位

  • 電子細分誤差:±20nm

  • 檢測速度最高:12m/s

  • 消耗電流:≤200 mA(無負載)

  • 電子細分位數:14位

  • 電源電壓:DC5V± 5%

  • 防護等級:IP40

  • 匹配柵尺:金屬、玻璃、陶瓷

  • 工作溫度:0 ~ +70°C

  • 讀數頭重量:20g

  • 限位開關:讀數頭底部磁性開關