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光柵尺讀數頭

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基于自主核心光編芯片與配套算法,結合深度優化的光機設計,為您提供高精度定位反饋的全鏈路解決方案。系統支持20μm柵距增量式光柵尺,兼容直線、圓弧及圓光柵等多種類型,通過實時自適應調節光強、增益、相位等參數,實現幾乎無延遲精準測量,確保優異的動態性能和長期穩定運行。該系統可廣泛應用于半導體制造、精密數控機床、激光加工、光學檢測及自動化裝配等領域,為各類高精度設備提供從傳感、處理到集成的完整測量支持。

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基于自主核心光編芯片與配套算法,結合深度優化的光機設計,為您提供高精度定位反饋的全鏈路解決方案。系統支持80μm柵距增量式光柵尺,兼容直線、圓弧及圓光柵等多種類型,通過實時自適應調節光強、增益、相位等參數,實現幾乎無延遲精準測量,確保優異的動態性能和長期穩定運行。該系統可廣泛應用于半導體制造、精密數控機床、激光加工、光學檢測及自動化裝配等領域,為各類高精度設備提供從傳感、處理到集成的完整測量支持。

102N.png

基于自主核心光編芯片與配套算法,結合深度優化的光機設計,為您提供高精度定位反饋的全鏈路解決方案。系統支持102.4μm柵距絕對式光柵尺,兼容直線、圓弧及圓光柵等多種類型,通過實時自適應調節光強、增益、相位等參數,實現幾乎無延遲精準測量,確保優異的動態性能和長期穩定運行。該系統可廣泛應用于半導體制造、精密數控機床、激光加工、光學檢測及自動化裝配等領域,為各類高精度設備提供從傳感、處理到集成的完整測量支持。

顯示3種產品

產品型號
產品手冊
產品類型
分辨率
柵距
電子細分誤差
最高檢測速度
電源電壓(V)
消耗電流(mA)
工作溫度

TVMDGH300P

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光柵尺讀數頭10nm80μm±50nm8m/sDC5V±5%≤500mA0 ~ 70℃

TVMDGH020P

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光柵尺讀數頭2.5nm20μm±20nm12m/sDC5V±5%≤200 mA(無負載)0 ~ 70°C

TVMDGA102N

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光柵尺讀數頭10nm102.4μm±100nm4m/sDC5V±5%≤500mA0 ~ 70℃