光柵尺讀數頭
基于自主核心光編芯片與配套算法,結合深度優化的光機設計,為您提供高精度定位反饋的全鏈路解決方案。系統支持20μm柵距增量式光柵尺,兼容直線、圓弧及圓光柵等多種類型,通過實時自適應調節光強、增益、相位等參數,實現幾乎無延遲精準測量,確保優異的動態性能和長期穩定運行。該系統可廣泛應用于半導體制造、精密數控機床、激光加工、光學檢測及自動化裝配等領域,為各類高精度設備提供從傳感、處理到集成的完整測量支持。
基于自主核心光編芯片與配套算法,結合深度優化的光機設計,為您提供高精度定位反饋的全鏈路解決方案。系統支持80μm柵距增量式光柵尺,兼容直線、圓弧及圓光柵等多種類型,通過實時自適應調節光強、增益、相位等參數,實現幾乎無延遲精準測量,確保優異的動態性能和長期穩定運行。該系統可廣泛應用于半導體制造、精密數控機床、激光加工、光學檢測及自動化裝配等領域,為各類高精度設備提供從傳感、處理到集成的完整測量支持。
顯示3種產品
|
產品型號
|
產品手冊
|
產品類型
|
分辨率
|
柵距
|
電子細分誤差
|
最高檢測速度
|
電源電壓(V)
|
消耗電流(mA)
|
工作溫度
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
TVMDGH300P |
/
|
光柵尺讀數頭 | 10nm | 80μm | ±50nm | 8m/s | DC5V±5% | ≤500mA | 0 ~ 70℃ |
|
TVMDGH020P |
/
|
光柵尺讀數頭 | 2.5nm | 20μm | ±20nm | 12m/s | DC5V±5% | ≤200 mA(無負載) | 0 ~ 70°C |
|
TVMDGA102N |
/
|
光柵尺讀數頭 | 10nm | 102.4μm | ±100nm | 4m/s | DC5V±5% | ≤500mA | 0 ~ 70℃ |